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    准分子激光气体对健康的危害-广州世源气体

    2011-10-31 13:37:59

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    相关产品:准分子激光气体
        在准分子激光器全球的医疗、半导体、光纤、平板显示、材料研究等高端行业得到广泛的应用,但作为专业的准分子激光气体的重要厂商,我们同时也发现在准分子激光器的使用上,还存在着一些隐忧,笔者想通过这篇文章,以引起相关操作人员的重视。
     
    准分子激光气体的主要成分:
     
    氟化氩(ArF)  193 nm F2ArHeNe
    氟化氪(KrF)  248 nm F2ArHeNe
    氯化氙(XeCl308 nm HClH2XeNe
    氟化氙(XeF 351 nmF2XeHeNe
     
       显而易见,准分子激光气体成份中,ArHeNeKrXe都是无色、无味、无毒、不可燃的惰性稀有气体,除非大量释放到密闭空间会引起窒息外,对人体的危害是有限的,排除惰性稀有气体的危害最主要的做法还是通风,增强室内空气的对流。
     
       除了稀有气体之外,准分子激光气中的F2是我们采取防范措施的重中之重。很多情况下,准分子激光气体都是以预混的形式进行供应,这些预混气的F2浓度都在1%以下,但足以对人体健康构成威胁,尤其是一些工业和科研应用的准分子激光气,使用的是5%F2+95%He,这类型的气体对人体的危害更为严重。
     
       氟气,化学式F2,是一种淡黄色、极具腐蚀性的双原子分子气体,密度(标准状态下):1.554kg/m3 比空气大。有特殊气味,吸入感觉干燥。
     
    物质状态:
    气体
    形状:
    透明气体
     
    气味:
    辛辣、臭味
    颜色:
    透明无色
    沸点/沸点范围:
    -185.9°C
    PH值:
    N/A
    闪火点:
    分解温度:
    测试方法:
    ○开杯      ○闭杯
    自燃温度:
    爆炸界限:
    爆炸下限(LEL) / 爆炸上限(UEL)…/…
    蒸气压:
    756.4 psig
    蒸气密度:
    1.312   (空气=1)
    密度:
    0.098 lb./ft3 (1.57 kg/m3)@ 21.1°C
    溶解度:
    完全互溶
     
     
     理化性质
       化学分子式:               F2
        分子量:                   37.9968
      熔点(101.325kPa)          -219.62
      沸点(101.325kPa)          -188.1
      液体密度(-188.1S.P.)    1507kg/m3
      气体密度(25101.325kPa) 1.554kg/m3
      相对密度(气体,空气=125101.325kPa)1.312
      比容(21.1101.325kPa)   0.6367m3/kg
      临界温度:                 -128.8
      临界压力:                 5215kPa
      临界密度:                 574 kg/m3
      熔化热(-219.670.252kPa) 13.44 KJ/kg
      气化热(-188.2101.325kPa) 175.51 KJ/Kg
      比热容(气体,21.1101.325kPa) Cp=827.67J/(mol.K)
                                       Cv=609.65J/(mol.K)
     比热比(气体,21.1101.325kPa)Cp/Cv=1.358
      蒸气压(53.56K)               0.223kPa
            (77.17K)              37.383kPa
            (89.40K)              162.638kPa
      粘度(气体,0101.325kPa)   0.02180mPa.s
      (液体,-192.2)              0.275mPa.S
      表面张力(-193.2)            14.81mN/m
      导热系数(气体,0101.325kPa)0.024769W/(mol.K)
      (液体,-188.1)               0.159W/(mol.K)
      折射率(气体,25101.325kPa) 1.000187
      (液体,-188.1)               1.2
      毒性级别:                      4
      易燃性级别:                    0
      易爆性级别:                    3
      火灾危险度:                    极大
     
       氟是电负度最强的元素,也是很强的氧化剂。在常温下,氟几乎能和所有的元素化合,并产生大量的热能,在所有元素中,氟是最活泼的。在-188以下,凝成黄色的液体,在-223变成黄色结晶体。由于氟的强化学特性,单质氟在自然界基本不存在,而主要以化合物的形式存在,其中最重要的化合物是氟化钙(CaF2),俗称萤石或氟石。由于原子能工业的发展,提炼核燃料必须使用单质氟,才使得氟气发展得到大规模的工业生产。氟气在现代工业中,特别是核工业、电气和化工行业等部门有着十分重要的用途。
     
    毒性
      人吸入TCLo25ppm5分钟,对眼有刺激性
     
      最高容许浓度:0.1 ppm (0.2mg/m3)
     
      氟是剧毒性气体,能刺激眼、皮肤、呼吸道粘膜。由于它立即与水反应生成氟化氢HF,所以在大多数情况下显出与氟化氢同样的毒性。轻微吸入会影响肺、鼻、喉咙等呼吸道黏膜,导致咳嗽及呼吸困难,过度吸入有可能产生组织破坏或肺水肿。
     
      当氟浓度为510ppm时,对眼、鼻、咽喉等粘膜开始有刺激作用,作用时间长时也可引起肺水肿。与皮肤接触可引起毛发的燃烧,接触部位凝固性坏死、上皮组织碳化等。慢性接触可引起骨硬化症和韧带钙化。氟物质会与水或空气中之湿气反应成氟化氢或氢氟酸,如果超过20%氟化氢或氢氟酸污染致人体可能导致血钙过少。吸入氟的患者应立即转移至无污染的安全地方安置休息,并保持温暖舒适。眼睛或皮肤受刺激时迅速用水冲洗之后就医诊治。氟物质亦会与水或空气中之湿气反应成氟化氢或氢氟酸。水中生物部分,如混合气体大量的在河边或水中外泄,会导致鱼类或水中生物死亡。
     
    安全防护
     
      工作场所要通风保持空气新鲜干燥。要用特种钢瓶贮装。钢瓶存放时必须与其它物料隔离,特别是与能和氟反应的物料隔绝,要远离易起火地点。
     
      着火时消防人员须在防爆掩蔽处操作,切不可将水直接喷射漏气处,否则会助长火势。灭火可用二氧化碳、干粉、砂土、废气可用水吸收。
     
    个人防护设备:
    呼吸防护:当氟物质超过暴露标准,或是紧急处理程序时,必须使用呼吸防护具。
    眼部:头盔附护目镜 (不可戴隐形眼镜)
    手套:橡胶手套
    其它:全套防化学污染之衣物
    卫生措施:
    使用时禁止吸烟或进食,并需注意环境整洁及个人卫生。
     
    安全与运输
     
      氟气是一种毒性极高的强腐蚀性气体,在湿空气中易形成氟化氢或二氟化氢。氟的腐蚀性突出表 现为强烈的酸性刺激性,其性质同氟化氢相似。与水、水蒸气反应,产生有毒腐蚀性烟气,并放出热。
     
      氟气对皮肤的灼伤速度比氢氟酸快许多,眼睛是氟中毒的敏感部位,它对眼睛的刺激程度也大大超过 氢氟酸。呼吸到低含量的氟气不会产生明显的生理病变,但经过呼吸系统进入人体的骨组织内,引起化 学反应导致骨质松软。氟气属有毒压缩气体,宜储存于阴凉、通风仓内,,并应远离火种、热源。氟气应与易燃或可燃物、金属粉末等分开存放。
     
    工程控制:
    工作场地需为通风良好场所,建议钢瓶放置在安全的通风处如毒气柜,操作时应有监控系统以降低员工暴露危险
    控制参数
    八小时日时量平均容许浓度
    TWA
    短时间时量平均容许浓度
    STEL
    最高容许浓度
    Ceiling
    生物标准
    BEI(ACGIH)
    0.1 ppm
    2.0 ppm
    10 ppm
     
    生物指标
    LD50(测试动物吸收途径)
    LC50(测试动物吸收途径)
    测试动物(   -   )吸收途径
    测试动物(185ppm)吸收途径
     
    生态资料                                                                                   
     
    可能之环境影响/环境流布:氪气、氖气为大气中自然产生之气体成分之一,不会造成环境影响。在自然水中,包含了钙及其它含碱之化学物质,与氟物质接触后会产生氟化钙及其它的氟化盐物质等中和现象。此外,氟物质亦会与水或空气中之湿气反应成氟化氢或氢氟酸,所有作业操作必须以降低环境中污染物为目标。
    植物或动物影响:因为混合气体中的毒性物质,动物暴露在混合气体下会造持细胞组织破坏、燃烧并有可能导致死亡。植物如受到此混合气体污染,可能遭致有害影响或破坏
    水中生物:混合气体中的氟物质,会对水中生物产生不利的影响,如果混合气体大量的在河边或水中外泄,会导致鱼类或水中生物死亡。
    臭氧消耗影响:此混合气体的成分不为第一级或第二级臭氧消耗的化学成分
     
    废弃处置方法
     
    废弃处置方法:以慢速通过苏打 (碳酸钠) 吸收过滤之
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