高纯氯化氢的制备方法
2015-11-19 17:10:36
氯化氢为无色，有毒，腐蚀性的不燃烧气体，比空气重，对上呼吸道有强刺激，对眼、皮肤、黏膜有腐蚀。遇潮湿的空气产生白烟，极易溶于水。化学级氯化氢含量为99.9%，高纯氯化氢含量为99.999%。
高纯氯化氢是集成电路生产中硅片蚀刻，钝化和外延等工艺的重要材料，也可以用于金属冶炼，光导通讯和科学研究等领域。随着大规模集成电路的发展，对氯化氢纯度的要求越来越高，对其中杂质的含量要求越来越苛刻，尤其要求严格限制碳氢化合物和碳氧化合物的含量，乙方硅片加工过程中C的形成。国内外现在制备高纯氯化氢的方法有很多，今天小谱就给大家收集了几种。
1：解吸法。20世纪70年代以前电子工业用高纯氯化氢的制备一直是将浓硫酸滴加到浓盐酸中，将其中的水吸收掉，使过饱和的氯化氢气体析出。
2： 盐酸脱析法。将浓盐酸置于脱析塔中加热脱析制氯化氢气体。盐酸脱析法制高纯氯化氢广泛应用于PVC、氯丁二烯和高纯盐酸等生产中。此方法生产的氯化氢气体纯度在99.9%以上。
3：合成法。氢和氯在合成炉中进行燃烧反应生成氯化氢气体是八十年代初为适应我国电子工业的迅速发展而提出的，在技术上是较先进的方法。此方法生产的氯化氢气体纯度在99.99%以上。
4：工业副产酸脱析法。随着盐酸脱析法的逐步推广，副产酸脱析生产氯化氢的工艺已广泛应用于生产。它是通过稀酸在绝热吸收塔吸收有机氧化物生产中的副产氯化氢，提浓后，进入解析吸塔脱析出高浓氯化氢气体。此方法生产的氯化氢气体纯度在99.99%以上。
5：石油化工副产氯化氢提纯法。目前电子级氯化氢出口国，如美国，主要是以石油化工副产氯化氢作为原料来制备高纯氯化氢。
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