工业六氟化硫纯度标准
SF6_工业六氟化硫技术标准：
| 项目名称 | 指标 | |
| 六氟化硫SF6纯度（质量分数）/10-2 | ≥ | 99.9 |
| 空气含量（质量分数）/10-5 | ≤ | 300 |
| 四氟化碳（CF4）（质量分数）/10-6 | ≤ | 100 |
| 六氟乙烷（C2F6）（质量分数）/10-6 | ≤ | 200 |
| 八氟丙烷（C3F8）（质量分数）/10-6 | ≤ | 50 |
| 水（H2O）（质量分数）/10-6 | ≤ | 5 |
| 酸度（以HF计）（质量分数）/10-6 | ≤ | 0.2 |
| 可水解氟化物（以HF计）含量(质量分数）/10-6 | ≤ | 1 |
| 矿物油含量（质量分数）/10-6 | ≤ | 4 |
| 毒性 | 生物试验无毒 |
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