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NH3_电子工业用气体氨国家标准GBT2014601-2009

一、范围

本标准规定了氨的技术要求，试验方法，检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。

本标准适用于半导体工业，氮化硅、氮化镓的化学气相淀积，也可用于硅或氧化硅的氮化。

分子式： NH3

二、技术要求

1、氨电子级产品的质量应符合表1的要求。

2、氨光电子级产品应符合表2的要求，重金属含量应符合表3的规定。

三、氨气安全要求

1、氨的生产、使用以及贮运应符合《气瓶安全监察规程》（2000年）、《压力容器安全监察规程》（1999年）等相关规定。

2、氨无色，有刺激臭味，能伤害人的眼睛和呼吸器官，在使用时应注意防护，防止人身与氨接触，以免烧伤。

3、氨的生产、使用应有适当的尾气处理的措施，以防止氨对环境的污染。

4、由于氨易溶于水，应使用捕液器或止回阀防止倒吸，如发生倒吸，钢瓶内可能爆发猛烈反应，除此之外，还有可能对钢瓶造成严重腐蚀。任何意外的倒吸都应及时报告供应商。

5、氨可燃、易爆，它与空气或氧气混合有发生爆炸的危险。对于干燥的氨-空气混合物，爆炸范围约这含氨16%-25%。在下列三种情况下，爆炸范围将扩大：混入其他可燃气体，如氢；用氧代替空气；温度升高，压力高于大气压力。

6、在使用氨的环境中不能有明火。

7、氨气瓶应贮存在不易起火的地方；运输及搬运时避免受冲击、跌落和阳光照射。

NH3_电子工业用气体 氨国家标准GBT2014601-2009