含氟电子气体研究进展

  电子气体是发展集成电路、光电子、微电子，特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程中不可缺少的基础性支撑源材料，它被称为电子工业的“血液”和“粮食”，它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率，并从根本上制约着电路和器件的精确性和准确性。在硅片制造厂，一个硅片需要两到三个月的工艺流程，完成450道或更多的工艺步骤，才能得到有各种电路图案的芯片。这个过程包括外延、成膜、墋杂，蚀刻、清洗、封装等诸多工序，需要的高纯电子化学气体及电子混合气高达30多种，如硅烷、四氟化碳、六氟化硫、磷烷、超纯氦气、超纯氮气、高纯氯气、高纯氯化氢、高纯溴化氢等等。且每一种气体应用在特定的工艺步骤中。目前国外有美国APCI、杜邦、在台代理商三福化工和日本三井东亚、旭硝子、昭和电工，以及CenTral Glass等公司垄断着全球电子气体市场。
  在全球电子气体市场上，氟系列占30％左右。含氟电子气体主要用作清洗剂和蚀刻剂。