二氟硅烷《气体应用大全》

1.别名·英文名

二氟二氢硅；Difluorosilane．

2.用途

含氟非晶硅膜、制造非晶硅的原料气。

3.理化性质

分子量： 68.10

熔点： -122.0℃

沸点(101.325kPa)： -77.8℃

气体密度： 2.35kg/m³

熔化热： 6.148kJ/kg

气化热： 292.092kJ/kg

临界温度： 34℃

蒸气压(-124.3℃)： 2.666kPa

(-98.3℃)： 26.664 kPa

(-87.8℃)： 53.329kPa

比热容(气体，25℃)： 749.443J/(kg·K)

二氟硅烷在常温常压下为具有腐蚀性的可燃性有毒气体。长时间放置时缓慢分解，但比SiHF₃分解速度慢。

2SiH₂F₂→SiH₄+SiF₄

在水或苛性苏打的水溶液中水解产生氢气。

与乙醇、氨和胺反应。

参见六氟化二硅。