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工业气体、高纯气体和杂质表示方法

电子工业气体所用气体分为单质气体(如氢、氧、氮……),多元气体(硅烷,氨、氯化氢)和混合气体(硅烷和氢、磷烷和氮……)。气体纯度的含义是指除基本气体外,剩余结尾杂质。气体纯度的等级有多种,如普通纯、高纯和特纯(超纯)。所谓电子纯是指具体的半导体器件应用而言的。至于说普通纯、高纯和特纯气体是几个“9”,则与具体杂质含量多少有关。气体纯度表示通常有两类。
对化学家来说,一般用99%99.9%99.99%99.999%99.9999%99.99999%99.999999%等纯度表示。那么其余1%0.1%0.01%0.001%0.0001%0.00001%0.000001%为杂质。
物理学家根据上述几“9”的说法采用简便的方法,即n个“9”的说法,如上上面的纯度可以分别写成2N,3N,4N,5N,6N,7N,8N.如果写成4N85N5,这时纯度分别为99.998%99.9995%;如果写成5N85,则纯度为99.99985%
关于杂质含量有常量、微量、和痕量来表示,对于低于微量和痕量杂质一般指ppm~ppb及范围。具体的杂质浓度时:1ppm=10-4%1ppb=10-7%1ppt=10-10%
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