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最新电子级特种气体生产项目落户重庆市

2017-6-22 9:18:42

近日，中欧电子气体及材料公司电子级特种气体生产项目签约落户重庆市长寿经开区。
　该项目由邦盟（日本）资本有限公司投资4.6亿元，分两期建设年产5735吨电子级特种气体生产基地，计划今年11月开工，2018年3月一期建成投产，整个项目达产后将实现年产值约10亿元。该项目为重庆市首个电子级特种气体生产项目，主要生产六氟化钨、三氟化氮等27种（类）电子级特种气体，部分产品填补国内空白，可满足集成电路、液晶面板生产工艺对高纯特种气体的需求。未来，还将在渝建设电子级特种气体研发中心及设备生产基地。该项目的落户，加强了该市电子专用原材料的本地配套能力，进一步完善了电子核心基础部件产业链条，将有力助推重庆市战略性新兴产业发展。
说到电子气体，下面谱源气体给大家全面介绍多种电子气体
掺杂气：

AsH3、PH3、GeH4、B2H6、AsCl3、AsF3、H2S、BF3、BCl3、SeH2、SbH3、(CH3)2Te、(CH3)2Cd、(C2H5)2Cd、PCl3、(C2H5)2Te

晶体生长气：

SiH4、SiH2Cl2、SiHCl3、SiCl4、B2H6、BBr3、BCl3、AsH3、PH3、GeH4、TeH2、(CH3)3Al、(C2H5)3Al、(CH3)3As、(C2H5)3As、(CH3)2Hg、(CH3)P、(C2H5)3P、SnCl4、GeCl4、SbCl5、AlCl3、Ar、He、H2

气相蚀刻气：

CL2、HCl、HF、HBr、SF6

等离子蚀刻气：

SIF4、CF4、C3F8、CHF3、C2F6、CClF3、O2、C2ClF5、NF3、SF6、BCl3、HFCl2、N2、He、Ar

离子束蚀刻气：

C3F8、CHF3、CClF3、CF4

离子注入气：

AsF3、PF3、PH3、BF3、BCl3、SiF4、SF6、H2、N2

化学气相淀集气：

SiH4、SiH2Cl2、SiCl4、NH3、NO、O2

平衡气：

N2、Ar、He、H2、CO2、N2O、O2

外延气：

SiH4、SiH2Cl2、SiCl4、Si2H6、HCl、PH3、AsH3、B2H6、He、H2、N2、Ar

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