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高纯气体在国内发展速度日趋加快

2012-8-12 15:29:54

近几年来，随着我国超大规模平板显示器、集成电路、光伏发电等产业的迅速发展，高纯级电子气体市场的需求量明显增加，电子特种气体的国产化已是大势所趋。在不久前召开的全国特种气体第十四次年会上了解到，我国在电子特种气体国产化方面取得可喜进展：高纯气体中高纯四氟化碳“有价无货”时代也宣告结束，高纯氯化氢已成功打开国内市场国产高纯氨改变了国外气体公司垄断市场的格局。

　　　高纯气体 四氟化碳：“有价无货”时代已经结束

　　金融危机暴发前，由于国内不具备四氟化碳规模化生产能力，有钱也买不到产品，市场经常出现“有价无货”的现象。但随着国产高纯四氟化碳的入市，现在“有价无货”时代已经结束。据介绍，目前国内市场每年需要高纯四氟化碳约1000吨，纯度达99.9995%的国产货基本可满足国内需求。

　　　据了解，高纯四氟化碳气广泛应用于硅材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。佛山科的公司专业生产高纯四氟化碳、六氟化硫等多种高纯级电子气体。　

高纯氯化氢：成功打开国内市场

　　高纯氯化氢主要用于单晶硅片的抛光和外延，是硬质合金的重要原材料。据了解目前我国每年需求高纯氯化氢100吨左右，一半以上靠进口。金融危机暴发前，高纯氯化氢国内市场一直被国外公司垄断，国产品牌很难打进去。

高纯氨：国内企业将成主力军

　　高纯氨作为电子工业中氮化膜的成膜气体，是化学气相沉积（CVD）重要的“氮”源。2010年，国产高纯氨在太阳能领域发挥了巨大的作用。由于国产高纯氨进入市场，改变了国外气体公司垄断市场的局面。

高纯气体电子气体所涉及的不仅仅是一个产业化生产问题，也不单纯是一个资金投入的问题，首先要解决的关键是技术，国产电子气体一旦在市场上站稳，必将显示出其巨大的生命力、强大的竞争力。高纯氯化氢的国产化成功，无疑为其他电子气体的发展提供了借鉴。

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