电子工业用气（氨气、氯化氢、四氟化碳）告别进口

2013-8-19 21:00:41

  我国这几年在电子信息产业方面的发展迅速，在过去的一年里，我国电子信息产业销售额突破了十个亿，比之前年增幅达到了百分之十五。与此同时带动了整个电子特种气体的市场需求量。过去由于我国在气体生产、储存、提纯方面技术不够完善，一些电子工业用气如：氨气、四氟化碳、氯化氢都是需要依赖进口的。从我国电子产业长远发展角度出发，我国必须打破氨气、四氟化碳、氯化氢被国外垄断的情况。
  记者在2013年5月举办的特种气体年会报告中了解得知，广州市谱源气体有限公司宣布，经过不懈的努力，公司已经掌握了高纯氨气、高纯四氟化碳、高纯氯化氢的提纯技术，为电子工业用气的国有化做出了重要贡献。
  高纯氨气（NH3）是电子工业中氮化膜的成膜气体。高纯氨气跟硅烷、高纯氩气（Ar）用于薄膜太阳能电池的制造,也用于LED电子行业。氨气具有强腐蚀性和毒性，而且具有刺激性臭味，易溶于水。目前国产高纯氨气已经占到国内市场需求的一大半，相信以后会完全取代国外气体公司满足中国在IC、LED、太阳能电池等领域的需求。
  高纯四氟化碳（CF4） ，目前四氟化碳主要应用于微电子工业中的等离子蚀刻，广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨膜材料的锈蚀。同时也应用于电子元件的清洗。四氟化碳又叫做四氟甲烷，是一种卤代烃。无色、无臭、不可燃，挥发性较高。是最稳定的有机化合物之一。据广州谱源公司特气部主管透露，目前公司可以生产纯度达99.999%的高纯四氟化碳，产量基本可以满足珠江三角洲地区电子工业的需求。
  高纯氯化氢（HCL），主要应用于大规模集成电路单晶硅片气相抛光，外延机座腐蚀等。氯化氢是一种无色有刺激性气味的气体。易溶于水（遇水是有强腐蚀性）。遇氰化物产生剧毒性气体氰化氢。目前高纯氯化氢已经可以满足国内市场的需求。
  随着国内气体企业对电子气体的重视，国内气体公司在技术方面也渐渐的追上了国外气体公司。涌现出了一批以广州谱源气体有限公司为代表的具有创新性和活力的气体公司。