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    电子工厂特种气体系统设计规范

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    2008-8-1 17:15:00 [点击下载:dzhxpdg.doc]

    本规范的编写将适用于集成电路/太阳能芯片生产厂、新型显示器件厂(TFT/PDP 厂,如上海华虹-NEC、德芯电子(昆山)有限公司)高纯化学品配送系统管道的设计、施工及验收。主要技术内容包括:高纯化学品(含研磨液)配送系统设计,室内管道系统设计,品质在线侦测系统设计,有机溶剂间的防爆设计,气体、液体泄漏检测设计,配套的通风、废气处理、纯水、工艺系统废液收集、电力、生命安全等支持系统设计,土建设计以及上述设备、管道的施工及验收。
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