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    安全知识---三氟化氮(NF3)安全操作实践

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    2008-8-26 16:50:00 [点击下载:200882616508185.doc]

    三氟化氮(NF3)是有毒、无色、无嗅、不可燃的氧化性压缩气体。NF3具有在室温条件下相对容易使用和可以用作氟化剂的优点。由于这些因素,它在许多应用中获得了广泛的认可。由于它的优点,如高蚀刻率、高选择性、无碳蚀刻和最小限度的残留污染,电子工业把它用在等离子和热清洁应用中。由于它相对于氟气更容易使用,NF3在高能化学激光器中用作氟源。在特殊化学品的生产中NF3还用作媒介。
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