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    高纯气体清洁度的控制标准

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    2008-9-3 9:57:00 [点击下载:20089395721731.doc]

    通常,高纯气体系指气体中含较少杂质气氛(纯度),微量水份(干燥度)污染物粒子的娄量保持在最低限度,其粒度也应是最小的(洁净度)。因此,对于高纯气体,纯度、干燥度、洁净是三项重要的标度。 特别是近10年来,随着更复杂、更密集的大规模和超大规模集成电路的生产,对高纯气体洁净度的要求,其重要程度已不亚于对纯度和干燥度有严格要求的用气工艺,无一不对其中的粒子提出限制。
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