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    常用电子混合气体

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    2008-9-9 10:05:00 [点击下载:20089910535984.pdf]

    电子混合气体广泛用于大规模集成电路(L.S.I)超大规模集成电路(V.L.S.I)和半导体器件生产中,主要用于气相外延(生成)、化学气相淀积、掺杂(杂质 扩散)、各类蚀刻和离子注入等工艺中。
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