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虽然六氟化硫在常温常压下化学性质稳定，是无毒气体但是作为工业气体和电力设备行业重用气体，检测其泄露也是很有必要的，为环境的保护和高压电力输送的高效提供保障，现在一般常用的六氟化硫气体泄漏检测主要采用了电化学技术、电击穿技术和红外光谱吸收技术。

1、电化学技术：电化学技术的原理是被检测气体接触到200°C左右高温的催化剂表面，并与之发生相应的化学反应，从而产生电信号的改变，以此来发现被检测气体。

2、电击穿技术：电击穿技术是从六氟化硫气体在电力上的典型应用——作为绝缘气体应用在GIS开关柜中演变而来的。

其工作原理是根据六氟化硫气体绝缘的特性，从置于被检测空气中的高压电极间电压的变化来判断空气中是否含有六氟化硫气体。

3、红外光谱吸收技术：红外光谱吸收技术(又称激光技术)的原理是西安六氟化硫作为温室气体，对特定波段的红外光有很强烈的吸收特性。

目前采用第二种试验方法较为准确，其实施程序是：抽真空检验→六氟化硫气体→六氟化硫气体泄漏检验。

具体过程为：在GIS经真空检漏并静止六氟化硫气体5h后，用塑料薄膜在法兰接口等处包扎，再过24h后进行检测，如果有一处薄膜内六氟化硫气体的浓度大于30ppm，则该气室漏气率不合格。

如果所有包扎薄膜内六氟化硫气体的浓度均小于30ppm，则认为该气室漏气率合格。