比色技术具有以下优点:
■ 可视性好(通过试纸)
■ 灵敏度高(气体浓度检测范围低至ppb量级)
■ 区分度高(不受环境中其它气体的影响)
■ 快速反应
■ 稳定性高(具有一致性和可重复性,无需校准)
气体泄漏的证据
通过比色方法检测气体的一大优点是,可以提供可视的气体泄漏的证据以及泄漏气体的浓度。检测依赖试纸(涂有干燥的反应试剂用来收集气体样本),结合光学扫描设备,来检测气体的存在(图1)。当试纸暴露于目标气体环境下,将会视气体浓度显现出相应的色值。试纸用来实时监控fab内有毒气体的存在;任何偏离可接受范围的情况都将通过颜色的改变得以反映。可以在不同区域(图2)放置试纸实现多点监控。在这个实例中,比色技术展示了其快速反应的优点,使得fab安全经理可以针对是否关闭反应设备,做出更为理想和全面的决定。而要观察有毒气体是否已经释放,fab经理通过远程摄像机观察试纸即可。关于实际有毒气体浓度是否已经降低到了最低可检测范围以下,试纸检测技术可以提供最为可靠的确认。
如果使用得当,试纸检测技术可以在全球范围内满足健康和安全的要求,并提供最佳的实践指导,来保护工人远离有毒气体的伤害。在预防性维护和其它可能出现的情况下,fab经理需要可以证明有毒气体是否存在的证据,以保护fab内的工人。如果半导体fab停产每分钟会造成约$40,000的经济损失,且事故通常造成的停机时间为30分钟,那么每次错误的停机警报将会导致上百万美元甚至更高的经济损失,这还没有算上由于停机产生的报废产品的价值。
传统的比色技术
基于试纸的比色技术为半导体领域的应用可以提供可靠的,具有针对性的有毒气体检测方法。试纸可以使用不同的化学物质来检测多达500种不同的气体,实际上这已经涵盖了目前fab使用的所有气体(图3)。这包括:胺、氨、溴、氯、二氧化氯、二异氰酸盐(酯)、肼、氢化物、氰化物、过氧化氢、硫化氢、无机酸、氮氧化物、臭氧、光气和二氧化硫。该技术的气体检测敏感度受异丙醇和其它溶剂的影响很小,进一步降低了错误报警发生的可能。
对于气体检测/监控需求的不断变化促使比色技术不断进行创新。化学家开发出新的化学配方来检测更多种类的气体,化合物以及混合物。比色技术对于某种气体检测的灵敏度并非其它检测方法所能比拟。
基于试纸的气体检测技术同样为NASA(华盛顿特区)、FEMA(密苏里州,Hyattsville)、环保局(华盛顿特区,EPA)以及其它政府部门所亲睐。最近,在媒体大肆宣传的回收美国间谍卫星事件中,FEMA区域办公室配备了额外的采用比色技术的监测设备,来监控和检测任何可能随卫星进入地球的肼污染物。
成本问题
我们通常不会一对一地去比较不同的传感器技术。目前开发出的用于气体检测的技术,例如:电化学、触媒、红外技术、光致电离探测器以及比色技术,各有各的优势和劣势。例如:电化学电池(EC)为最终用户提供了诱人的单测量点价格,测量设备体积小巧,安装以及连接简单。而它的缺点则是容易受其它气体的影响,从而降低了对于目标气体检测的灵敏度;此外,制造商建议用户对EC检测设备做定期的碰撞测试,来确保传感器的光学敏感性和可使用性。气体检测效果依赖于设备校正周期,因此并不是检测fab内某种气体的最佳手段。在评估气体检测技术时,Fab安全经理经常面对的问题是最初安装成本与拥有成本之间的折衷。
基于比色技术的气体检测手段不需要对检测设备进行校正;这降低了检测设备在整个使用寿命周期内的成本。例如:试纸的制造完全遵循ISO 9000质量体系,由训练有素的化学师完成,每一批产品再按照统一的质量检测标准,通过高纯气体进行校正。通过这一系列措施,最终用户便无需再配备校正设备,从而避免了额外的成本,降低了接触化学物质的危险。
结论
试纸上的比色物质、仪器以及控制检测过程的软件巧妙的集成在一起。这样可以提供廉价的单测量点成本、高可靠性以及高敏感度的气体检测,同时还可以提供有害气体存在的可视证明。