SiH4热分解法制取高纯硅的化学原理
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在高纯硅的制备方法中,有发展前途的是SiH4热分解法。这种方法的整个工艺流程可分为三个部分:SiH4的合成、提纯和热分解。
(1)SiH4的合成
桂花镁热分解生成SiH4是目前工业上广泛采用的方法。硅化镁(Mg2Si)是将硅粉和镁粉在氢气(也可真空或在Ar气中)中加热500~550℃时混合合成的,其反应式如下:
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