指 标 名 称 |
规 格 | |||||
高纯氦气 |
纯氦气 |
工业氦气 | ||||
一级品 |
二级品 |
一级品 |
二级品 | |||
氦气含量 |
99.999% |
99.995% |
99.99% |
99.9% |
99.0% | |
氖气含量, ppm≤ |
4.0 |
15 |
40 |
≤ 0.1% |
≤ 1.0% | |
氢气含量, ppm≤ |
1.0 |
3.0 |
7.0 | |||
氧气、氩总含量, ( 以氧计 ) ppm≤ |
1.0 |
3.0 |
5.0 | |||
氮气含量 , ppm≤ |
2.0 |
10 |
25 | |||
一氧化碳含量, ppm≤ |
0.5 |
1.0 |
1.0 | |||
二氧化碳含量, ppm≤ |
0.5 |
1.0 |
1.0 | |||
甲烷含量, ppm≤ |
0.5 |
1.0 |
1.0 | |||
水份含量, ppm≤ |
3.0 |
10 |
20 |