1970年Nikolai Basov、V. A. Danilychev、Yu. M. Popov在莫斯科Lebedev物理研究所发明了准分子激光,当时使用了氙气受激发射的电子束激发态二聚体(Xe2),波长为172nm。不久这个技术得到了改善,1975年许多物理研究所开发了以稀有气体卤化物(XeBr)为发射源的准分子激光。这些物理研究所包括Avco Everett研究实验室、Sandia国家实验室,Northrop技术研发中心,以及美国海军研究实验室。继而他们又开发了以微波放电方式的XeCl准分子激光,此发现使全球准分子研究领域的研究人员倍受鼓舞。