广州谱源准分子激光气体填补多项国内空白
2014-3-14 21:01:56
广州市谱源气体公司通过对全球最主要准分子激光器应用的研究和开发，开创了准分子激光气体国产化的新纪元，填补了国产准分子激光气体在医疗、光纤、平板显示、半导体、电子等诸多领域应用的多项国内空白，目前对全球各个系列的氟化氩ArF（193nm）、氟化氪KrF（248nm）、氯化氙XeCl（308nm）、氟化氙XeF（351nm）设备均能提供相应的产品。相对于以往准分子激光气体严重依赖进口的情况，广州谱源气体准分子项目的市场进入、开发和拓展，降低了多个行业准分子激光应用和运营的成本。此外，以往进口气如无库存的情况下，到货周期快则2个月，慢则需要3个月，如遇到进口清关的问题，甚至需要更长的时间。广州谱源气体以快速灵活的生产和配送方式，大大缩短了准分子激光气体的供应周期。完善的生产工艺体系和服务反应体系，更好的配合了国内客户对效率的需求，目前，广州谱源准分子激光气体已被众多激光用户、厂商所认可和推崇，市场影响力和占有率也在稳步的提升。
广州谱源气体通过十多年准分子激光气体的开发和研究，经验告诉我们，准分子激光气体杂质对激光腔有着严重的危害，杂质中的水、氧会对腔体内表面造成损害，从而使激光腔内壁钝化膜失效或剥落，影响激光的稳定输出和腔体的寿命；同样，气体对颗粒度也有非常高的要求，内壁剥落的钝化膜和杂质中的粉尘在高速工作运转下，都会对镜片及激光腔造成不可逆转的永久性伤害；气体的配制精度误差过大给设备带来的危害不可估量，由于气体混配误差过大，致使激光腔长期高电压负荷运转，以保证能量的稳定输出，在此过程中电极的寿命会加速缩短，并挥发出CF4等有害气体杂质和粉尘污染物，这些杂质将会对镜片镀膜层造成一定的污染，影响激光的能量输出效率并缩短了镜片清洗的时间间隔和使用寿命。
广州谱源气体拥有目前世界上先进的气体纯化系统和分离技术，其中包括对惰性气体颗粒度、H2O、O2、HF、CF4、CO、CO2、碳氢化合物等杂质的过滤和分离。广州世源气体对分析系统不断的开发和投入，严格控制气体中的微量污染物，并对气体分装和配制技术进行了众多改进，从而显著提升了纯度和混配精度。就是这种对卓越永无止境的追求，使广州谱源气体准分子激光气体的稳定性和一致性得到了有效的管理和控制，并为多个国家和地区提供产品服务。
