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    单频准分子激光

    2011-12-15 10:04:31

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        所谓的单频准分子激光就是脉冲气体激光,在电流通过时被激活,释放出某一波长的单色光。气体是由惰性气体和卤素混合而成,激活的惰性气体和卤素可形成卤化物 “Excimer”一词来自激态分子的意思,即受激态准分子是一种激态二聚体“Excimer Dimer”,这两个单词组合成 “Excimer”。
     
        目前应用的单频准分子激光主要有以下几种:氩氟(ArF)准分子激光其波长193nm;氪氟(KrF)准分子激光其波长248nm;氙氯(XeCl)准分子激光其波长308nm; 氙氟(XeF)准分子激光其波长351nm等。单频准分子激光是连续的脉冲气体激光,释放的光波长在紫外线范围内,脉冲宽度为10~30 ns,频率为0~35 Hz,4种单频准分子激光的波长为气体特异性的。
     
        目前普遍使用的ArF193以及Xecl308准分子激光已经在医学领域和光电行业得到了广泛的应用,气体按科学的方法分析,从稀有气体中去除所有有害的杂质。气体分析证明,这些杂质的存在会影响准分子激光器达到最佳的使用性能。气体公司在全球销售这些优质的稀有气体和平衡气体,以满足所有准分子激光器的使用需求。全球最大的准分子激光器气体制造商已经证明:和任何激光器相关的任何气体或气体混合物,都对激光器的性能造成极其重要的影响,这些影响包括:
    A 脉动能量
    B 输出功率
    C 充填一次气体的使用寿命
    D 稳定性(一个脉动到另一个脉动)

        为了确保激光器性能的最优化,气体的化学家研究团队认真分析每种气体化合物,特别监控对激光器性能有害的杂质气体,以确保产品的质量。这些分析主要针对(但不仅限于)水分、氧气、碳氢化合物、和其他一切不必要的杂质。
     
     
     
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