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    电子气的分类

    2012-1-14 11:18:03

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       为电子工业服务的电子气品种繁多,用途五花八门,它的分类方法亦较为复杂。一般可按电子气组分的性质来分类,也可以按电子气的用途分类。
     
    (一)按电子气组分的性质分类
     
       按组分的性质分类,大致可分为三大类,即单质类气体,化合物类气体和混合物类气体。其中化合物类应用较多,又可细分为三种,即氢化物(如SiH4PH3B2H6等)、氟化物(如NF3BF3SiF4等)和碳氟化合物(如CF4C2F6C5F12等)。
     
    不同成分电子气的分类
    分类
    气体名称
    单质气体
    ArH2O2HeN2Cl2
    化合物气体
    SiH4PH3AsH3B2H6SiF4SF6HCIH2SNH3GeH4CF4C2F6C3F8C5F12
    混合物气体
    SiH4+稀释气(ArHeH2N2   PH3+稀释气(ArHeH2N2
    AsH3+稀释气(ArHeH2N2   B2H6+稀释气(ArHeH2N2
    HCI+稀释气(ArHeO2N2    H2S +稀释气(ArHeH2N2
    NH3 +稀释气(ArHeH2N2   Cl2 +稀释气(ArHeN2
    CO+SF6                           H2Se +稀释气(ArHeH2N2
     
    (二)按电子气用途分类
     
       根据电子气的不同用途,电子气可分为十多类,例如外延晶体生长气、热氧化气、外延气、掺杂气、扩散气、化学气相沉积气、喷射气、离子注入气、等离子蚀刻气、载气/吹洗气、光刻气、退火气、焊接气、烧结气和平衡气等。
     
    不同用途电子气的分类
    分类
    气体名称
    掺杂气
    AsH3PH3GeH4B2H6AsCl3AsF3H2SBF3BCl3H2SeSbH3(CH3)2Te(CH3)2Cd(C2H5)2CdPCl3(C2H5)2Te
    晶体生长气
    SiH4SiH2Cl2SiHCl3SiCl4B2H6BBr3BCl3AsH3PH3GeH4TeH2 (CH3)Al(C2H5)3Al(CH3)3As(C2H5)3As(CH3)2Hg(CH3)3P(C2H5)3PSnCl4GeCll4SbCl5AlCl3ArHeH2
    气相蚀刻气
    Cl2HClHFHBrSF6
    等离子蚀刻气
    SiH4CF4C3F8CHF3C2F6CClF3O2C2ClF5NF3SF6BCl3CHFCl2N2HeAr
    离子束蚀刻气
    C3F8CHF3CClF3CF4
    离子注入气
    AsF3PF3PH3BF3BCl3SiF4SF6H2N2
    化学气相沉积气
    SiH4SiH2Cl2SiCl4NH3NOO2
    平衡气(稀释气)
    N2ArHeH2CO2N2OO2
    外延气
    SiH4SiH2Cl2SiCl4Si2H6HClPH3AsH3B2H6HeH2N2Ar
     
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