产品中心
当前位置:首页  >  产品中心  >  电子行业用气体  >  四氟化碳|四氟甲烷|CF4
电子行业用气体

四氟化碳|四氟甲烷|CF4

四氟化碳|四氟甲烷|CF4
查看大图
产品名称:

四氟化碳|四氟甲烷|CF4

其他名称:

R14

分子式:

CF4

UN NO.:

UN1956

CAS NO.:

75-73-0

产品纯度:

99.999%

包装说明:

40L钢瓶,30kg/瓶

产品名称: 四氟化碳|四氟甲烷|CF4
其他名称: 四氟甲烷、R14、tetrafluoromethane、carbon tetrafluoride
分子式: CF4
UN No. UN1956
CAS No. 75-73-0
产品纯度:99.99~99.9999%
包装说明: 43L DOT钢瓶,钢瓶尺寸23 × 130cm,316L SS材质阀门,阀门型号CGA660
产品说明: 四氟化碳在常温常压下为无色无臭有轻微醚味的气体。空气中不燃烧,是比较稳定的无毒物质。但是在高温时,或与可燃气体一同燃烧时,分解出有毒的氟化物。在1000℃以上能与二氧化碳形成羰基氟。微溶于水,在25℃,101.325kPa时,水中溶解度为0.0015%(重量)。有轻微的水解作用。。四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅,磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗,太阳能电池的生产,激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态,印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。由于它的化学稳定性,四氟化碳可用于金属冶炼,例如:铜、不锈钢,碳钢、铝、蒙乃尔等;还可用于塑料行业;如:合成橡胶、氯丁橡胶、聚氨基甲酸乙酯。 
注意事项: 不燃性压缩气体。储存于阴凉、通风仓间内。仓内温度不宜超过30℃。远离火种、热源。防止阳光直射。应与易燃或可燃物分开存放。验收时要注意品名,注意验瓶日期,先进仓的先发用。搬运时轻装轻卸,防止钢瓶及附件破损。泄漏时,应迅速撤离泄漏污染区人员至上风处,并进行隔离,严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器,穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风,加速扩散。如有可能,即时使用。漏气容器要妥善处理,修复、检验后再用。四氟化碳一般认为是惰性低毒物质,在高浓度下是窒息剂,其毒性不及四氯化碳。 四氟化碳为非腐蚀性气体,所有通用材料如钢、不锈钢、铜、青铜,铝等金属材料都可以使用,但是含镁大于2%的合金不能用。在高温,一些金属起加速CF4分解的催化作用。按其催化作用增长的次序由小到大地排列则如下:因科镍合金、奥氏体不锈钢、镍、钢、铝、铜、青铜、黄铜、银。可以用聚四氟乙烯,环氧树脂和醋酸纤维。尼龙在高温,有水和空气时变脆。聚三氟氯乙烯聚合体可以用,但稍微有膨胀。废气可直接排人大气中。

MSDS

技术指标

分享到:
相关新闻
相关知识
广州市谱源气体有限公司
粤公网安备44011802000128号@1993-2014 粤ICP备08114730号
增城新塘西洲大王岗工业区
电话: 4006-377-517,020-82797785,13711176807曾小姐 传真: 020-82797482
技术支持:沁盟科技