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广州市谱源气体有限公司
六氟化硫《气体应用大全》
2014-3-6 22:50:52
六氟化硫 SF6
1.别名·英文名
Sulfur hexafluoride、Sulfur fluoride．
2.用途
电子设备、雷达波导、粒子加速器、变压器、避雷器等的气绝缘体，制冷剂，示踪装置，医疗，半导体制造中的蚀刻、化学相淀积、标准气，检漏气体，色谱仪的载气。
3.制法
在高温下硫和氟反应制得。
S+3F2→SF6
4.理化特性
分子量： 146.054
熔点(224kPa)： -50.8℃
升化点(101.325kPa)： -63.7℃
液体密度(-50.8℃)： 1880kg/m3
气体密度(0℃，101.325kPa)： 6.52kg/m3
相对密度(气体，空气=1，20℃，101.325kPa)：5.114
比容(21.1℃，101.325kPa)：0.1516m3/kg
临界温度： 45.5℃
临界压力： 3759kPa
临界密度： 736kg/m3
压缩系数：
|
温度 |
压缩系数 | |||
|
100kPa |
1000kPa |
2000kPa |
3000kPa | |
|
15 |
0.9886 |
0.8656 |
|
|
|
50 |
0.9926 |
0.9137 |
0.8113 |
0.6760 |
熔化热(222.35K，224kPa)： 34.38kJ/kg
气化热(-63.8℃，101.325kPa)： 161.61kJ/kg
比热容(气体，25℃，101.325kPa)：CP=665.18J/(kg·K)
(液体，225K)： C=759.14J/(kg·K)
蒸气压(-20℃)： 680kpa。
(0℃)： 1250kPa
(30℃)： 2680kPa
粘度(101.325kPa，0℃)：0.0142mPa·S
(液体，229.85K)：0.500mPa·S
表面张力(-50℃)： 11.63mN/m
导热系数(101.325kPa，0℃)：0.01206W/(m·K)
折射率(气体，0℃，101.325kPa)： 1.000783
六氟化硫在常温常压下为无色无臭无毒的气体。不燃烧。对热稳定，化学性质不活泼。在500℃以上赤热状态下也不分解，在800℃以下很稳定。在250℃时与金属钠反应。没有腐蚀性，可以用通用材料，不腐蚀玻璃。电绝缘性能和消弧性能好，绝缘性能为空气的2～3倍，而且气体压力越大，绝缘性能越增高。药物学性质不活泼，没有毒。微溶于水，在酒精和醚中溶解的比在水中多一些。不溶于盐酸和氨。水中的溶解度为：5.4cm3SF4/kgH2O(SF6分压101.325kPa，25℃)。介电常数为：1002049(气体，101.325kPa，25℃)。在21.1℃时S.P.为2308kPa。
5.毒性
最高容许浓度：10ppm(12mg/m3)
六氟化硫在生理学上是不活泼的，在药理学上认为是惰性气体。但是当含有SF4等杂质时便变成有毒物质。当吸入高浓度SF6时可出现呼吸困难、喘息、皮肤和粘膜变蓝、全身痉挛等窒息症状。
6.安全防护
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