气 体 |
纯 度 |
n2
p.p.m |
o2
p.p.m |
h2o
露点 |
co2
p.p.m |
ch2
p.p.m |
粒 径
≥0.5m微尘 |
原料氩 |
99.99% |
<100 |
<15 |
-50℃ |
<5 |
<5 |
≤3000颗/升 |
精制氩 |
>99.999% |
≤0.2 |
≤0.2 |
-70℃ |
≤0.5 |
≤0.5 |
≤3.5颗/升 |
工作状态 |
ⅰ组工作ⅱ组再生 |
ⅰ组工作ⅱ组待用 |
ⅱ组工作ⅰ组再生 |
ⅱ组工作ⅰ组待用 | |
干燥器ⅰ工作进出口v8v2 |
开 |
开 |
关 |
关 | |
干燥器ⅱ工作进出口v9v3 |
关 |
关 |
开 |
开 | |
干燥器ⅰ再生进出口阀v4v6 |
关 |
关 |
开 |
关 | |
干燥器ⅱ再生进出口阀v5v7 |
开 |
关 |
关 |
关 | |
再生流量计v12 |
开 |
关 |
开 |
关 | |
电源启动按钮 |
开 |
关 |
开 |
关 | |
钮子开关 |
拨向ⅱ组 |
|
拨向ⅰ组 |
| |
温控仪 |
ⅰ |
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调至350℃ |
|
ⅱ |
调至350℃ |
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