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    氦气用于高纯气体管道检漏

    2016-12-2 14:45:53

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    高纯气体管道氦气检漏方法
    1、高纯大宗气体管道氦检漏常用方法采用内向检漏法、阀座检漏法、外向检漏法。
    2、内向检漏法(喷氦法)应采用在高纯气体管道内部抽真空,外部喷氦气的方法进行检漏。
    3、阀座检漏法应采用阀门上游充氦气,下游抽真空的方法检漏。
    4、外向检漏法(吸枪法)应采用在高纯气体管道内部充氦气或氦氮混合气,外部用吸枪检查可能泄漏点的方法检漏。
    5、氦检漏仪表应采用质谱型氦检测仪,其检测精度不得低于1
    6、高纯气体氦检漏的泄漏率应符合下列要求:
    6. 1、内向检漏法测定的泄漏率不得大于1*10-9mbar. l/s;
    6.2、阀座检漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar. l/s;
    6. 3、外向检漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar. l/s
    7、氦检漏发现的泄漏点经修补后,应重新进行气密性试验并合格,然后应按规定再时行氦检漏。
    8、所有可能泄漏的点应用塑料袋隔离。
    9、系统测试完毕,应充入高纯氮气或氩气,并应进行吹扫。
    10、测试完毕后,应提交测试报告。
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