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    1.别名·英文名一氟三氢硅;Fluorosilane.2.理化性质分子量:50.11沸点:-98.0℃相对密度(气体,空气=1):1.73一氟硅烷为具有腐蚀性的可燃性有毒气体。其它参..查看详情
     
    1.别名·英文名二氟二氢硅;Difluorosilane.2.用途含氟非晶硅膜、制造非晶硅的原料气。3.理化性质分子量:68.10熔点:-122.0℃沸点(101.325kPa):-..查看详情
     
    1.别名·英文名Trifluorosilane.2.用途含氟非晶硅膜、非晶硅的原料气。3.制法(1)4SiCl3+3SnF4→4SiHF3+3SnCl4SbCl5(2)查看详情
     
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