电子工业气体六氟化硫、氯化氢技术指标
2016-1-4 14:29:05
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项目名称 |
范围 |
指标 | ||
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SF6纯度（体积分数）/10-2 |
≥ |
99.99 | ||
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空气含量（体积分数）/10-6 |
≤ |
50.0 | ||
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CF4含量（体积分数）/10-6 |
≤ |
15.0 | ||
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H2O含量（体积分数）/10-6 |
≤ |
8.0 | ||
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酸度（以HF计）（体积分数）/10-6 |
≤ |
1.0 | ||
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可水解氟化物（以HF计）（体积分数）/10-6 |
≤ |
1.0 | ||
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其他杂志（CO2、C2F6、C2F8、SO2F2、S2OF2、S2OF10）（体积分数）/10-6 |
≤ |
15.0 | ||
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杂志总和（体积分数）/10-6 |
≤ |
100 | ||
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颗粒 |
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由供需双方商定 | ||
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项目名称 |
范围 |
指标 | ||
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Hcl纯度（体积分数）/10-2 |
≥ |
99.999 | ||
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O2+Ar含量（体积分数）/10-6 |
≤ |
1 | ||
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N2含量（体积分数）/10-6 |
≤ |
2 | ||
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CO含量（体积分数）/10-6 |
≤ |
2 | ||
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CO2含量（体积分数）/10-6 |
≤ |
2 | ||
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CH4含量（体积分数）/10-6 |
≤ |
0.5 | ||
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烃类（C1~C3）含量（体积分数）/10-6 |
≤ |
1 | ||
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H2O含量（体积分数）/10-6 |
≤ |
1 | ||
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金属离子含量（Fe）/10-6 |
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0.5 | ||
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其他离子Mn、Zn、Cr、Co、Cu、Ni含量（质量分数）/10-6 |
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