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    电子工业气体六氟化硫、氯化氢技术指标

    2016-1-4 14:29:05

    0
     
    电子工业用六氟化硫SF6
    项目名称
    范围
    指标
    SF6纯度(体积分数)/10-2
    99.99
    空气含量(体积分数)/10-6
    50.0
    CF4含量(体积分数)/10-6
    15.0
    H2O含量(体积分数)/10-6
    8.0
    酸度(以HF计)(体积分数)/10-6
    1.0
    可水解氟化物(以HF计)(体积分数)/10-6
    1.0
    其他杂志(CO2C2F6C2F8SO2F2S2OF2S2OF10)(体积分数)/10-6
    15.0
    杂志总和(体积分数)/10-6
    100
    颗粒
     
    由供需双方商定
     
    电子工业用氯化氢HCL
    项目名称
    范围
    指标
    Hcl纯度(体积分数)/10-2
    99.999
    O2+Ar含量(体积分数)/10-6
    1
    N2含量(体积分数)/10-6
    2
    CO含量(体积分数)/10-6
    2
    CO2含量(体积分数)/10-6
    2
    CH4含量(体积分数)/10-6
    0.5
    烃类(C1~C3)含量(体积分数)/10-6
    1
    H2O含量(体积分数)/10-6
    1
    金属离子含量(Fe/10-6
     
    0.5
    其他离子MnZnCrCoCuNi含量(质量分数)/10-6
     
    -
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