电子四氟化碳CF4气体性质

质量标准:

性状：
四氟化碳为永久气体，在常温常压下为无色无臭的气体。空气中不燃烧，是比较稳定的无毒物质。
用途：
四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，可广泛应用于电子器件表面清洗，印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
贮存：
阴凉通风、远离热源、仓温不宜超过30℃，空瓶、满瓶应分开存放。
运输：
四氟化碳的运输应符合《气瓶安全监察规程》的相关规定。
包装:
应充装在经特殊处理的洁净、干燥的无缝高压气瓶中，气瓶容积一般为40L、12.5L、10L、8L、4L等，也可根据用户需要选用各种容积的气瓶或其它容器。