氮 氧（氩）四氟化碳 氧化亚氮 二氧化碳 六氟化硫的测定

一、仪器
采用配备氦离子化检测器的气相色谱仪测定三氟化氮中四氟化碳（允许采用热导气相色谱法）、氧化亚氮、二氧化碳、六氟化硫的含量。当三氟化氮纯度的体积分数不大于99.99%时，允许采用热导气相色谱仪测定三氟化氮中氮、氧（氩）、氧化亚氮、二氧化碳、六氟化硫的含量。
仪器均应当配备气路切割系统，用于切除样品气中绝大部分的三氟化氮。
二、测定条件
要求所采用的气相色谱仪对色谱仪对三氟化氮中氮、氧（氧）、四氟化碳、氧化亚氮、二氧化碳、六氟化硫的检测限分别不大于本标准所列相应杂质指标的1/2.
三、色谱柱
切割柱：长5.0m，内径2mm，内装粒度为0.18mm~0.25mm的PorapakQ有机多孔聚合物的不锈钢柱。色谱柱在180℃通载气活化2h后备用，切割柱使用温度为40℃。或采用其他等效色谱柱。
分析柱：长3.0m，内径2m，内径 内装粒度为0.18mm~0.25mm的HayeSepDB的气相色谱级多孔聚合物的不锈钢柱。色谱柱在180℃通载气活化2h备用，分析柱柱温约40℃。或采用其它等效色谱柱。
采用本标准推荐的切割柱和分析柱时，三氟化氮中的各种杂质组分的流出顺序为：氢、氦、氧（氩）、四氟化碳、三氟化氮、二氧化碳、氧化亚氮、六氟化硫。
四、气体标准样品
当所测定的试样中三氟化氮纯度的体积分数不大于99.99%时，所采用的气体标准样品为氮、氧（氩）、四氟化氮、二氧化碳、氧化亚氮的含量应当与被测试样中所对应的含量相近，气体标准样品的平衡气为氦气。