六氟化硫《气体应用大全》
六氟化硫 SF6
1.别名·英文名
Sulfur hexafluoride、Sulfur fluoride.
2.用途
电子设备、雷达波导、粒子加速器、变压器、避雷器等的气绝缘体,制冷剂,示踪装置,医疗,半导体制造中的蚀刻、化学相淀积、标准气,检漏气体,色谱仪的载气。
3.制法
在高温下硫和氟反应制得。
S+3F2→SF6
4.理化特性
分子量: 146.054
熔点(224kPa): -50.8℃
升化点(101.325kPa): -63.7℃
液体密度(-50.8℃): 1880kg/m3
气体密度(0℃,101.325kPa): 6.52kg/m3
相对密度(气体,空气=1,20℃,101.325kPa):5.114
比容(21.1℃,101.325kPa):0.1516m3/kg
临界温度: 45.5℃
临界压力: 3759kPa
临界密度: 736kg/m3
压缩系数:
温度 |
压缩系数 |
100kPa |
1000kPa |
2000kPa |
3000kPa |
15 |
0.9886 |
0.8656 |
|
|
50 |
0.9926 |
0.9137 |
0.8113 |
0.6760 |
熔化热(222.35K,224kPa): 34.38kJ/kg
气化热(-63.8℃,101.325kPa): 161.61kJ/kg
比热容(气体,25℃,101.325kPa):CP=665.18J/(kg·K)
(液体,225K): C=759.14J/(kg·K)
蒸气压(-20℃): 680kpa。
(0℃): 1250kPa
(30℃): 2680kPa
粘度(101.325kPa,0℃):0.0142mPa·S
(液体,229.85K):0.500mPa·S
表面张力(-50℃): 11.63mN/m
导热系数(101.325kPa,0℃):0.01206W/(m·K)
折射率(气体,0℃,101.325kPa): 1.000783
六氟化硫在常温常压下为无色无臭无毒的气体。不燃烧。对热稳定,化学性质不活泼。在500℃以上赤热状态下也不分解,在800℃以下很稳定。在250℃时与金属钠反应。没有腐蚀性,可以用通用材料,不腐蚀玻璃。电绝缘性能和消弧性能好,绝缘性能为空气的2~3倍,而且气体压力越大,绝缘性能越增高。药物学性质不活泼,没有毒。微溶于水,在酒精和醚中溶解的比在水中多一些。不溶于盐酸和氨。水中的溶解度为:5.4cm3SF4/kgH2O(SF6分压101.325kPa,25℃)。介电常数为:1002049(气体,101.325kPa,25℃)。在21.1℃时S.P.为2308kPa。
5.毒性
最高容许浓度:10ppm(12mg/m3)
六氟化硫在生理学上是不活泼的,在药理学上认为是惰性气体。但是当含有SF4等杂质时便变成有毒物质。当吸入高浓度SF6时可出现呼吸困难、喘息、皮肤和粘膜变蓝、全身痉挛等窒息症状。
6.安全防护
用气装置可用肥皂液检漏。SF6无腐蚀性,可以使用不锈钢、铜、铝等通用材料。发生火灾时可用水和砂土灭火。泄漏的气体,可导入苛性钠和消石灰的混合溶液中处理,或者把泄漏的气瓶放入通风橱内。