四氟化硫《气体应用大全》

四氟化硫SF₄

1.别名·英文名

氟化硫；Sulfur tetrafluoride、Sulfur fluoride．

2.用途

电子气、化学气相淀积、氟化剂、表面处理剂、等离子干刻。

3.制法

2F₂+S→SF₄

4.理化性质

分子量： 108.058

熔点： -121.5℃

沸点(101.325kPa)： -40.4℃

液体密度(-40.4℃，101.325kPa)：1816kg/m³

(-80℃，S.P.)： 1940.6kg/m³

气体密度(20℃，101.325kPa)：4.558kg/m³

相对密度(气体，空气=1，20℃，101.325kPa)：3.783

比容(21.1℃，101.325kPa)：0.2247m³/kg

临界温度： 90.9℃

临界压力： 6342.9kPa

气化热(-40.4℃，101.325kPa)： 200.72 kJ/kg

比热容(气体，25℃)： Cp=707.57 J/(kg·k)

蒸气压(-100℃)： 0.9kPa

(-60℃)： 32kPa

(21.1℃)： 1067kPa

表面张力(232.75K)： 19.85mN/m

四氟化硫在常温常压下为具有类似二氧化硫气体的强烈刺激臭的无色有毒腐蚀性气体。空气中不燃烧。在600℃以下很稳定，但是遇到潮湿空气时水解产生有毒的烟雾，其毒性很强，与光气的毒性相似。与水和酸类激烈反应生成氟化氢和二氧化硫。有少量水分时能腐蚀玻璃。能溶于苯。

5.毒性

老鼠在4ppm时呼吸困难，衰弱；在20ppm时经4小时因肺气肿而致命。

最高容许浓度：0.1ppm(0.4mg/m³)

四氟化硫的毒作用很强，它与人体内的水分作用生成氟化氢，因而对眼、皮肤和呼吸道系统造成严重的损伤。症状有刺激眼和咽喉，皮肤灼伤，咳嗽，肺水肿等。

6.安全防护

工作时不要露出皮肤，保持室内空气新鲜干燥。用气的设备应事先烘烤干燥，用惰性气体冲冼，再用氟气钝化以增强其耐蚀性。设备要严格密封，可用氨水探漏。

干燥SF₄气可用不锈钢、耐盐酸镍基合金、铝、铝合金、镍、镍合金、铜、铜合金和玻璃。对潮湿的SF4气体只能用蒙乃尔和因科镍合金。可以用聚四氟乙烯和聚氯乙烯。