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六氟化硫的合成和纯化

六氟化硫相对分子质量为146.50,沸点、熔点分别为-51度和-61.8度,可作为-45~0度范围的制冷剂。又因其耐热性能好,是一种高温热载体。
六氟化硫具有极好的稳定性,卓越的电绝缘性和灭弧特性。绝缘能力为空气的2.5倍以上,而灭弧的性能为空气的100倍。
大量的六氟化硫主要应用在电气设备上。半导体技术的进步,对六氟化硫纯度提出更高的要求。以下把纯度指标提高到:纯度99.9%;杂质含量:空气(氧、氮)<0.05%;<0.0015%;四氟化碳<0.05%;酸度(氟化氢)<0.00003%;氟化氢水解产物<0.0001%
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