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    CHF3_电子工业用气体 三氟甲烷国家标准GB_T 34085-2017

    2019-7-2 15:01:00

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    一、范围
    本标准规定了电子工业用三氟甲烷的技术要求、试验方法以及包装 、标志 、贮运及安全。
    本标准适用于以二氟一氯甲烷、三氯甲烷和氟化氢为原料制备的三氟甲烷产品,它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体。
    分子式:CHF3
    二、技术要求
    三氟甲烷的质量应符合表1的要求
    三氟甲烷
    三、三氟甲烷纯度计算
    三氟甲烷
    四、包装、标志、贮运及安全
    1、包装三氟甲烷的气瓶应符合GB/T 5099的规定。
    2、推荐使用进行内表面处理的气瓶,处理后的气瓶应满足本标准的要求。瓶阀出气口连接方式推荐使用CGA320。
    3、应防止瓶口被污染和泄漏。
    4、包装容器上应标明“电子级三氟甲烷”字样。
    5、三氟甲烷产品应存放在阴凉、干燥、通风的库房内,严禁暴晒、远离热源。
    6、三氟甲烷在常温常压下具有窒息性、无色无味气体,空气中不燃烧。接触后可引起头痛、恶心和呕吐,有麻醉作用。
    7、三氟甲烷与高温表面或火焰接触时,分解生成腐蚀性和毒性都极高的氟化氢烟雾。
    8、接触三氟甲烷气体可能引起心律失常和窒息。吸入蒸气可能引起中枢神经系统抑郁。液态时溅到皮肤上能引起灼伤。
     
     
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