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一、范围

本标准规定了电子工业用三氟甲烷的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。

本标准适用于以二氟一氯甲烷、三氯甲烷和氟化氢为原料制备的三氟甲烷产品，它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体。

分子式：CHF₃

二、技术要求

三氟甲烷的质量应符合表1的要求

三、三氟甲烷纯度计算

四、包装、标志、贮运及安全

1、包装三氟甲烷的气瓶应符合GB/T 5099的规定。

2、推荐使用进行内表面处理的气瓶，处理后的气瓶应满足本标准的要求。瓶阀出气口连接方式推荐使用CGA320。

3、应防止瓶口被污染和泄漏。

4、包装容器上应标明“电子级三氟甲烷”字样。

5、三氟甲烷产品应存放在阴凉、干燥、通风的库房内，严禁暴晒、远离热源。

6、三氟甲烷在常温常压下具有窒息性、无色无味气体，空气中不燃烧。接触后可引起头痛、恶心和呕吐，有麻醉作用。

7、三氟甲烷与高温表面或火焰接触时，分解生成腐蚀性和毒性都极高的氟化氢烟雾。

8、接触三氟甲烷气体可能引起心律失常和窒息。吸入蒸气可能引起中枢神经系统抑郁。液态时溅到皮肤上能引起灼伤。