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    PH3_电子工业用气体 磷化氢国家标准GBT 14851-2009

    2019-7-5 14:11:49

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    一、范围
    本标准规定了电子工业用磷化氢的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
    本标准适用于亚磷酸热分解、磷化物水解、单质磷与水或碱反应等方法获得并精制提到的磷化氢产品。它主要用于半导体器件和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。
    分子式:PH3
    二、技术要求
    电子工业用气体磷化氢的质量应符合表1的要求
    磷化氢
    三、磷化氢纯度
    磷化氢
    四、磷化氢标志、包装、贮运及安全
    1、磷化氢是剧毒、可燃气体,加热或燃烧时,分解生成磷氧化物有毒烟雾。与空气、氧气、氧化剂如氯、氮氧化物、金属硝酸盐、卤素和其他许多物质激烈反应,有着火和爆炸危险,浸蚀许多金属。
    2、与磷化氢接触时,禁止明火,禁止火花和禁止吸烟。禁止与高温表面接触。若发生火灾,切断气源,如不可能并对周围环境无危险,让火自行燃烧完全。其他情况用干粉、二氧化碳灭火。
    3、磷化氢可能通过吸入吸收到体内。容器漏损时,该气体迅速达到空气中有害浓度。
    4、磷化氢严重刺激呼吸道。吸入气体可能引起肺水肿。液体迅速蒸发,可能引起冻伤。该物质可能对中枢神经系统、心血系统、心脏、胃肠道、肝和肾有影响,导致功能损害。过多超过职业接触限值接触时,可能导致神志不清或死亡。影响可能推迟显现。需要进行医学观察。
    5、包装容器上应标明“电子磷化氢”字样。
    6、磷化氢出厂时应附有质量合格证,其内容至少应包括:
    产品名称,生产厂名称,危险化学品生产许可证编号
    生产日期或批号,充装质量(Kg)
    本标准号及技术指标,检验员号
     
     
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