气体知识

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一、范围

本标准规定了电子工业用气体氮的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。

本标准适用于以深冷法从空气中提取的气态和液态氮，以及经电化学方法得到的氮。它们在超大规模集成电路制造中用作保护、吹扫、覆盖、加压，化学气相淀积等。

分子式：N₂

二、氮技术要求

电子工业用气体氮的质量应符合表1的要求

三、标志、包装及贮运

1、包装容器上应标明“电子氮”字样。

2、瓶装氮气压力应大于气瓶公称工作压力的90%，用于测量的压力表精度不低于2.5级。氮气在20℃101.3KPa状态下的体积按GB/T3864R FWPG.

3、返厂氮气钢瓶的余压不应低于0.2MPa。余压不符合要求的气瓶，水压试验后的气瓶以及新气瓶等在充装前应按规定要求进行加热、抽空和置换。

4、氮出厂时应附有质量合格证，其内容至少应包括：

产品名称、生产厂名称、危险化学品生产许可证编号

生产日期或批号、成品压力或质量、产品技术指标

本标准标准号及产品等徐若、检验员号

5、氮气比空气重，可能累积在低层空间，造成缺氧。空气中高浓度氮造成缺氧，有神志不清或死亡危险。进入污染工作区域前，检验氧含量。

6、容器漏损时，液氮迅速蒸发造成封闭空间空气中过饱和，有窒息严重风险。

7、液氮可能引起冻伤。冻伤时用大量水冲洗，不要脱去衣物，给予医疗护理。

8、在氮有可能泄漏或氮含量有可能增加的地方应设置通风装置。