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广州市谱源气体有限公司
气体知识
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气体应用
电子气体在高新技术中的应用
2012-2-14 15:23:42
0
进入20世纪90年代以后,随着我国高新技术的快速发展,计算机工业对大规模集成电路、液晶显示器的需求大量增加;随着新型能源的发展,我国大力开拓了多晶硅太阳能电池和薄膜太阳能电池的生产;此外,新型电光源、光电半导体器件(GaAs、InP、AlGaAs)、光纤通讯器件也获得迅猛发展,在上述高新产品的生产中,都需要大量高纯气体,以制造出性能可靠的各种器件。
大规模集成电路
化学气相沉淀:
SiH
4
,
NH
3
,O
2
,
N
2
O
,TEOS(四乙氧基硅)
化学刻蚀:
CF
4
,
SF
6
,NF
3
,
Cl
2
,CCl,BCl
3
,
KrF
,ArF,HBr,
HCl
化学掺杂:BF
3
,
B
2
H
6
,
PH
3
,
AsH
3
液晶屏
化学气相沉淀:
SiH
4
,SiNx
化学刻蚀:
SF
6
,
HCl
,Cl
2
太阳能电池
化学气相沉淀:
SiH
4
,
PH
3
,
NF
3
扩散、刻蚀:POCl
3
,O
2
,
CF
4
光电半导体
化学气相沉淀:
AsH
3
,PH
3
,
NH
3
,N
2
,
H
2
化学刻蚀:BCl
3
,
Cl
2
光导纤维
化学气相沉淀:
SiH
4
,SiCl
4
,
D
2
,GeCl
4
化学刻蚀:
CF
4
,KrF,
ArF
,Cl
2
,
SF
6
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