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三氟硅烷《气体应用大全》

1.别名·英文名

Trifluorosilane．

2.用途

含氟非晶硅膜、非晶硅的原料气。

3.制法

(1)4SiCl₃+3SnF₄→4SiHF₃+3SnCl₄SbCl₅

(2)

(3)4SiHCl₃+3TiF₄—→4SiHF₃+3TiCl₄

4.理化性质

分子量： 86.09

熔点： -131.4℃

沸点(101．325kPa)： -95.0℃

气体密度： 2.97kg/m³

临界温度： -10℃

比热容(气体，25℃，101.325kPa)： 735.328J/(kg·K)

蒸气压(-132.9℃)： 2.666kPa

(-102.8℃)： 53.329kPa

(-90.9℃)： 125.256kPa

三氟硅烷在常温常压下为具有强刺激臭的无色气体。在常温缓慢地进行分解。加热时也分解。但是在液氮温度下停止分解。

4SiHF₃→3SiF₄+SiH₄

在空气中燃烧时发出淡青色火焰(着火温度比SiHCl₃高)。

12SiHF₃+6O₂→3SiF₄+3SiO₂+4HzSiF₆+2H₂SiO₃

在水或苛性苏打水溶液中水解产生氢气

2SiHF₃+(x+2) H₂O—→SiO₂·XH₂O+H₂SiF₆+2H₂

与乙醇反应生成氢气和正硅酸酯Si(OR)₄。与浓硝酸作用生成NO₂气体。与氨、胺反应生成加合物。

5.毒性·安全防护

参见六氟乙硅烷。