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广州市谱源气体有限公司
二氟硅烷《气体应用大全》
2014-3-6 22:31:29
1.别名·英文名
二氟二氢硅；Difluorosilane．
2.用途
含氟非晶硅膜、制造非晶硅的原料气。
3.理化性质
分子量： 68.10
熔点： -122.0℃
沸点(101.325kPa)： -77.8℃
气体密度： 2.35kg/m3
熔化热： 6.148kJ/kg
气化热： 292.092kJ/kg
临界温度： 34℃
蒸气压(-124.3℃)： 2.666kPa
(-98.3℃)： 26.664 kPa
(-87.8℃)： 53.329kPa
比热容(气体，25℃)： 749.443J/(kg·K)
二氟硅烷在常温常压下为具有腐蚀性的可燃性有毒气体。长时间放置时缓慢分解，但比SiHF3分解速度慢。
2SiH2F2→SiH4+SiF4
在水或苛性苏打的水溶液中水解产生氢气。
与乙醇、氨和胺反应。
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