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气体应用大全
四氟化碳《气体应用大全》
2019-7-23 9:40:19
0
四氟化碳CF4
1.别名·英文名
四氟甲烷、氟里昂14;Tetrafluoromethane、Carbon Tetraflu-oride.
2.
四氟化碳
用途
制冷、气体绝缘、干蚀刻气、氟化剂、表面处理剂、激光气体泄漏检验剂。
3.
四氟化碳
制法
(1)C+2F2→CF4
(2)SiC+2F2→CF4+Si
(3)醋酸溶解于无水氢氟酸中,电解制取。
(4)一氧化碳和氟反应。
4.
四氟化碳
理化性质
分子量:88.005
熔点(101.325kPa): -186.8℃
沸点(101.325kPa): -128.0℃
液体密度(-127.94℃,101.325kPa):1603kg/m3
气体密度(0℃,101.325kPa): 3.946 kg/m3
相对密度(气体,0℃,101.325kPa): 3.05
气液容积比(15℃,100kPa):436 L/L
比容(21.1℃,101.325kPa):0.2747m3/kg
临界温度: -45.6℃
临界压力: 3739kPa
临界密度: 629kg/m3
压缩系数:
温度℃
压缩系数
100kPa
1000kPa
5000kPa
10000kPa
1 5
0.9981
0.9763
0.7832
0.6058
50
0.9988
0.9866
0.8717
0.7637
熔化热(-186.8℃): 7.609 kJ/kg
气化热(-127.94℃,101.325kPa): 135.65 kJ/kg
比热容(气体,25℃,101.325kPa):Cp=696 J/(kg·K)
Cv=602J/(kg·K)
比热比(气体,25℃,101.325kPa):Cp/Cv=1.157
蒸气压(-180.65 C):0.20 kPa
(-120℃): 165 kPa
(-50℃): 3220 kPa
粘度(101.325kPa,0℃,气体):0.0161 mPa·S
(-60.0℃,液体):0.170 mPa·S
表面张力(-80.0℃): 6.4 mN/m
导热系数(101.325kPa,0℃):0.01503 w/(m·K)
(液体,-60.0℃):0.07196 w/(m·K)
折射率(-73℃): 1.151
四氟化碳在常温常压下为无色无臭有轻微醚味的气体。空气中不燃烧,是比较稳定的无毒物质。但是在高温时,或与可燃气体一同燃烧时,分解出有毒的氟化物。在1000℃以上能与二氧化碳形成羰基氟。微溶于水,在25℃,101.325kPa时,水中溶解度为0.0015%(重量)。有轻微的水解作用。
5.
四氟化碳
毒性
四氟化碳一般认为是惰性低毒物质,在高浓度下是窒息剂,其毒性不及四氯化碳。
6.
四氟化碳
安全防护
四氟化碳为非腐蚀性气体,所有通用材料如钢、不锈钢、铜、青铜,铝等金属材料都可以使用,但是含镁大于2%的合金不能用。在高温,一些金属起加速CF4分解的催化作用。按其催化作用增长的次序由小到大地排列则如下:因科镍合金、奥氏体不锈钢、镍、钢、铝、铜、青铜、黄铜、银。
可以用聚四氟乙烯,环氧树脂和醋酸纤维。尼龙在高温,有水和空气时变脆。聚三氟氯乙烯聚合体可以用,但稍微有膨胀。
废气可直接排人大气中。
四氟化碳为非腐蚀性气体,所有通用材料如钢、不锈钢、铜、青铜,铝等金属材料都可以使用,但是含镁大于2%的合金不能用。在高温,一些金属起加速CF4分 解的催化作用。按其催化作用增长的次序由小到大地排列则如下:因科镍合金、奥氏体不锈钢、镍、钢、铝、铜、青铜、黄铜、银。
可以用聚四氟乙烯,环氧树脂和醋酸纤维。尼龙在高温,有水和空气时变脆。聚三氟氯乙烯聚合体可以用,但稍微有膨胀。废气可直接排入大气中。
四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,其
高纯气及
四氟化碳
高纯气配高纯氧气的混合体,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻。对于硅和二氧化硅体系,采用CF4-H2反应离子刻蚀时,通过调节两种气体的比例,可以获得45:1的选择性,这在刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅薄膜时很有用。
在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用
由于化学稳定性极强,CF4还可以用于金属冶炼和塑料行业等。
四氟化碳的溶氧性很好,因此被科学家用于超深度潜水实验代替普通压缩空气。
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