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四氟化碳基本性质、工业制取方法
2015-9-17 10:33:27
0
四氟化碳(
CF4
)又称四氟甲烷,其高纯气及其配
高纯氧气
的混合气,。是目前为电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体。
四氟化碳
基本不溶于水,在
25
度
C
及
0.2Mpa
下溶解度质量分数为
15x10
-6
.
四氟化碳具有很高的稳定性,属于完全不燃性气体,但与可燃性气体燃烧时,会分解产生有毒氟化物。常温下不与酸、碱及氧化剂反应,
900
度
C
以下不与
Cu
、
Ni
、
W
、
Mo
等过渡金属反应。仅在碳弧温度下缓慢分解。
1000
度
C
不与碳、氢、及甲烷反应。室温下可与液氨
-
金属钠试剂反应,高温下可与碱金属、碱土金属及
SiO2
反应。生产相应的氟化物。四氟化碳在
800
度
C
下开始分解,在电弧作用下可以
CO
与
CO2
反应生产
COF2
,有人还试图在碳弧温度中使用四氟化碳聚合以合成气体谈氟化合物。
由于
C-F
键的化学稳定性极强,因此以四氟化碳为代表的全氟烃可认为无毒的,
CF4
、
C2F6
和
C3F8
的全球变暖潜能值(
GWP
)的下限分别
620
、
190
和
53
,远小于氯氟烃(
CFCs
)、六氟化硫和二氧化碳。
工业制取
CF4
的方法
1
:烷烃直接氟化法。该方法的优点是工艺成熟、操作简单、原料易得。但也存在反应不易控制,产物复杂,收率低等缺点,最终可能被气体工艺所淘汰。
2
:氟氯甲烷氟化法。很早就有用氟氯甲烷与
HF
进行气相反应制备
CF4
的报道,但对氟氯甲烷氟化较相应的甲烷更为困难,反应需在催化剂存在下进行。催化剂同使用含
Cr
化合物。此法的优点是工艺简单,操作安全,多数情况下不需要昂贵的
F2
,设备投资低。但随着
CFC
8
和氢氟氯烃
(HCFC
8
)
的逐步禁用,该工艺的原料来源受到限制而受影响使用。
3
:氢氟甲烷氟化法。氢氟甲烷氟化法是一种适合工业化推广的生产方法,具有工艺简单、不需使用催化剂、四氟化碳收率和纯度高等优点。但目前作为原料的氢氟甲烷价格相对较高,限制了工业化装置的规模。
4
:氟碳直接合成法。四氟化碳最早是通过氟碳直接反应制得的,改方法经过不断的发展与完善,以成为工业上制备全氟烷的最主要方法之一。
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