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特种气是什么,谱源气体专业供特种气
2015-11-3 15:15:57
0
特种气也称为稀有气体。主要包括电子气体和
标准气体
两大类,它是集成电路制造和大型石油化工装置正常运行必不可少的重要材料。
电子气体:如集成电路制造,
IC
生产线,硅片的加工等微电子原件的加工,需要品种繁多的高纯,超高纯(组成的最低浓度为
10
-6
)特种气体,故人们常吧这种用于微电子技术的特种气体成做电子气体。
标准气体:标准气体属于标准物质。标准物质时高度均匀的,有良好的稳定性和量值准确的测量标准。它们具有复现、保存和传递量值的基本作用,有物理,化学,生物与工程领域中用于校测量仪器的过程,评价测量的准确度和检测实验室的检测能力;确定材料或产品的特性量值,进行量质仲裁。
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