Gaseousargonistasteless,colorless,odorless,noncorrosive,andnonflammable.Argonbelongstothefamilyofrareinertgase... 查看详情

Oxygenisthesecondlargestcomponentoftheatmosphere,comprising20.8%byvolume.Gaseousoxygeniscolorless,odorless,tas... 查看详情

Nitrogenmakesupthemajorportionoftheatmosphere(78.03%byvolume,75.5%byweight).Gaseousnitrogenisinert,colorless,o... 查看详情

气体灭火在我国始于80年代，盛于90年代，新型灭火方式和灭火剂在应用过程中经历了许多变化，在火险隐患、火灾扑救、环境保护、经济实用等诸多因素中选择一种满意的消防设防方案，常常十分复杂。本文就此作一些讨论，仅供同仁参考 查看详情

SiH4 矽甲烷……製程氣體（洩漏有爆炸危險）NH3 氨……製程氣體N2O 笑氣……製程氣體PH3 磷化氫……製程氣體N2 氮氣……製程氣體，常用為破真空Vent或吹乾的媒介H2 氫氣……製程氣體NF3 氟化氮……製程氣... 查看详情

从日本半导体制程洁净及蚀刻用气体之现况反观国内之发展NF3在执行CVD腔体洁净(ChamberCleaning)扮演重要的角色，清洁效率极高，近年来受到「京都议定书」对全氟化物PFC（PerfluorinatedComp... 查看详情

目前太阳电池用硅材料大多来自半导体硅材料的外品和单晶硅的头尾料,不能满足光伏工业发展的需要。同时硅材料正是构成晶体硅太阳电池组件成本中很难降低的部分,因此为了适应太阳电池高效率、低成本、大规模生产发展的需要,最有效的办法... 查看详情

介绍了年产300万硅抛光片、60万硅外延片，主要生产4~12英寸的硅抛光片以及6~8英寸的硅外延片的微电子工厂的气体需求。主要有三氯氢硅、氯化氢、磷烷、乙硼烷、氢气和氮气。特种气体存放于进口的特气钢瓶柜，氯化氢HCl、三... 查看详情

甲烷CH4国家标准 查看详情

标准气体属于标准物质。标准物质是高度均匀的，良好稳定和量值准确的测定标准，它们具有复现，保存和传递量值的基本作用，在物理，化学，生物与工程测量领域中用于校准测量仪器和测量过程，评价测量方法的准确度和检测实验室的检测能力，... 查看详情